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ITO綁定臺(tái)
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一、靶材綁定的方式
靶材綁定的方式主要有三種，壓接、釬焊和導(dǎo)電膠。
1、壓接：采用壓條, 一般為了提高接觸的良好性，會(huì)增加石墨紙、Pb或In皮。
2、釬焊：一般使用軟釬料的情況下，釬料常用In、Sn、In-Sn，要求濺射功率小于20W/cm2。
3、導(dǎo)電膠：采用的導(dǎo)電膠要耐高溫，厚度在0.02-0 05微米。
二、靶材綁定的作用
1、防止靶材受熱不勻碎裂。例如ITO、SiO2、陶瓷等脆性靶材及燒結(jié)靶材受熱容易碎裂；
2、節(jié)省成本，防止變形。如靶材太貴，可將靶材做薄些，綁定背靶以防止變形。
三、靶材綁定的流程
1、綁定前將靶材和背靶表面預(yù)處理；
2、將背靶固定放置在加熱臺(tái)上，將靶材放于背板上，升溫到綁定溫度；
3、將靶材和背靶金屬化，通過(guò)釬焊將靶材貼合在銅背板上；
4、粘接靶材和背靶，靶材的遠(yuǎn)離銅背板的表面上放置配重塊，待靶材冷卻后取下配重塊步驟；
5、降溫和后處理。
四、靶材綁定的范圍
技術(shù)上來(lái)說(shuō)表面平整可進(jìn)行金屬化處理的靶材都可以用釬焊綁定技術(shù)綁定銅背靶，來(lái)提高濺射過(guò)程的散熱性、提高靶材利用率。建議綁定的靶材： ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及燒結(jié)靶材； 錫、銦等軟金屬靶；靶材太薄、靶材太貴的情況等。但下列情況綁定有弊端：
1、熔點(diǎn)低的靶材，像銦、硒等，金屬化的時(shí)候可能會(huì)變軟變形；
2、貴金屬靶材，一是實(shí)際重量易出現(xiàn)分歧，二是金屬化以及解綁的時(shí)候都會(huì)有浪費(fèi)料，建議墊一片銅片。
五、綁定靶材的使用注意事項(xiàng)
1、濺射溫度不宜太高；
2、電流要緩慢加大；
3、循環(huán)冷卻水應(yīng)低于35攝氏度；
4、適宜的靶材致密度。
六、背靶的選擇
1、對(duì)材質(zhì)的要求：一般選用無(wú)氧銅和鉬靶。
2、導(dǎo)電性好，常用無(wú)氧銅，無(wú)氧銅的導(dǎo)熱性比紫銅好；
3、厚度適中，般建議背靶厚度3mm左右。太厚，消耗部分磁強(qiáng)；太薄，容易變形。
4、結(jié)構(gòu)要求空心或者實(shí)心結(jié)構(gòu)。
5、強(qiáng)度足夠，太薄，易變形，不易真空密封。
七、背靶脫落的原因
1、濺射溫度高，背靶易被氧化和發(fā)生翹曲，靶材在高溫濺射時(shí)會(huì)開(kāi)裂，造成背靶脫落；
2、電流太大，導(dǎo)熱太快造成溫度過(guò)高，焊料熔化，造成焊料不均勻，造成背靶脫落；
3、循環(huán)冷卻水出水口的溫度應(yīng)低于35攝氏度，循環(huán)水溫度高，造成散熱不好而脫落；
4、靶材本身的致密度，靶材的致密度很高時(shí)，不易吸附，無(wú)空隙，背靶易脫落。
以上是關(guān)于什么是靶材綁定的回答，簡(jiǎn)單說(shuō)，靶材綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來(lái)。方式主要有壓接、釬焊和導(dǎo)電膠三種方式。靶材綁定的作用是防止靶材受熱不勻碎裂，防止變形。另外還補(bǔ)充了綁定的流程、范圍等內(nèi)容，希望能讓大家更好的了解靶材綁定。躍邦自動(dòng)化設(shè)備有限公司專(zhuān)注于濺射靶材研發(fā)、生產(chǎn)十余年，靶材組織結(jié)構(gòu)均勻細(xì)小、性能穩(wěn)定一致、濺射成膜性能優(yōu)異，有需要的朋友，歡迎留言或致電躍邦詳詢(xún)~
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